№28379Настольная вакуумная установка магнетронного напыления

Описание

Наличными, Безналичный расчёт
Курьером, Самовывоз, Транспортной компанией
Производитель: Собственное производство
Для отработки технологии магнетронного напыления металлических и диэлектрических покрытий на твердые и дисперсные образцы предлагаем Вам настольную вакуумную установку VSE-PVD-DESK-PRO

Отличительные особенности установки:


Полностью безмасляная откачка обеспечивает высокую чистоту осаждаемых покрытий;
Прозрачное окно на передней части камеры позволяет визуально контролировать процесс осаждения покрытий;
Диаметр нераспыляемой центральной части магнетрона минимизирован;
Простота использования сочетается с высоким качеством получаемых покрытий;
Высокая повторяемость результатов позволяет получать серии образцов с заданными свойствами.
Установка предназначена для:
Отработки технологий нанесения покрытий;
Проведения научных исследований в областях материаловедения, приборостроения, электроники, нанесения оптических покрытий, микромеханических устройств и др.
Оптимальна для целей и задач учебного процесса ВУЗов


Простота использования сочетается с высоким качеством получаемых покрытий за счёт автоматизации управления вакуумной системой и процесса напыления. Высокая повторяемость результатов позволяет получать серии образцов с заданными свойствами.

Установка предусматривает возможность нанесения различных типов металлов и диэлектриков как на твёрдые, так и на дисперсные образцы. Толщина покрытий от десятков нанометров до нескольких микрон.

Специально разработанная конструкция вакуумной камеры для оптимизации процесса в малом объёме. Выполнена из нержавеющей стали, обеспечивает распыление сверху вниз. Прозрачное окно на передней части камеры позволяет визуально контролировать процесс осаждения покрытий

Съемный верхний фланец предусматривает возможность установки дополнительного магнетрона и ионного источника на месте двух портов. Специальный фланец для установки датчика толщины покрытий.


минимизация диаметра нераспыляемой центральной части магнетрона. Магнетрон с заслонкой выполнен на фланце в стандарте ISO100 с возможностью регулировки высоты расположения мишени относительно фланца.
мощность разряда, до 1,5 кВт
однородность наносимых покрытий: ±10%
диапазон плавного регулирования выходной средней мощности: от 0,1 до 3 кВт
подложкодержатель с шаговым двигателем и оптическими датчиками обеспечивает точность положения до 0,5 мм. Количество подложек диаметром 90 мм – 4 шт.


Ввод вращения в вакуум с дифференциальной откачкой.


подача газа осуществляется непосредственно через магнетрон (опция)
предусмотрена возможность измерения толщины покрытия (опция)
устройство нагрева подложкодержателя (опция)
передача данных и управление через ПК (опция)
комплектующие от ведущих мировых производителей


Система управления - полуавтоматическая. Реализована на программируемом контроллере с управлением откачкой, потоками газов, электромагнитными клапанами, шаговым двигателем, технологическими источниками питания. Наличие системы блокировок по потоку воды и по допустимому вакууму. Наличие цветного сенсорного экрана.